Закупка и утилизация пластин интегральных схем
Вафли высшего сорта
Кремниевые пластины высшего качества - это лучшие кремниевые пластины высшего сорта.Его можно использовать для изготовления устройств, обычно обладающих такими свойствами, как чрезвычайно гладкая поверхность и низкое изменение общей толщины (TTV).Его превосходное качество и полированная поверхность с возможностью обеспечения более жестких характеристик удельного сопротивления делают пластины класса Prime лучшими.Он предлагает исключительное качество, полированную поверхность и имеет увеличенный срок службы.
| 6 дюймов (150 мм),8 дюймов (200 мм),12 дюймов (300 мм) |  |  |
Вафля тестового класса / вафля-пустышка
Пластина-пустышка (также называемая тестовой пластиной) представляет собой фиктивную пластину Si, которая в основном используется для экспериментов и испытаний.Пластины тестового качества отличаются высоким качеством, но имеют менее строгие свойства, чем пластины высшего качества.Соответственно, регенерированные вафли в основном применяются в качестве фиктивных вафель (испытательных вафель).Пластины тестового качества часто используются в приложениях, требующих большого количества пластин для тестирования оборудования и изготовления.В каждом процессе толщина пленки, сопротивление давлению, коэффициент отражения и наличие пинбола измеряются с использованием фиктивных пластин (испытательных пластин).
| 6 дюймов (150 мм),8 дюймов (200 мм),12 дюймов (300 мм)
|  |  |
Пластины тестового класса/мониторные пластины
Мониторные пластины — это голые кремниевые пластины, которые следует использовать в случае, когда требуется корректировка на каждом этапе производства до фактического производства ИС.Например, когда заданы условия каждого процесса, например, в случае измерения допусков устройства в зависимости от (изменения) толщины подложки, кремниевые пластины с рулонами для прокладочных пластин используются в качестве замены пластин высокого стандарта и высокой стоимости. .Кроме того, они также используются для целей контроля в процессе вместе с вафлями продукта.
| 6 дюймов (150 мм),8 дюймов (200 мм),12 дюймов (300 мм) |  |  |
Восстановленная вафля
Из-за высокой стоимости кремния высшего сорта и больших объемов потребляемыхмногие полупроводниковые предприятия используют восстановленные пластины для оптимизации и контроля своих производственных процессов и оборудования.Регенерация включает удаление нежелательного материала с пластины с помощью комбинации сухого и мокрого процессов, а затем полировку и очистку пластины для восстановления поверхности кремния до пригодного для использования качества.Природа типичного процесса требует некоторого удаления кремния.Источником восстановленных пластин являются контрольные пластины и фиктивные пластины, но не дефектные пластины на полупроводниковой фабрике.Возврат этих мониторных пластин и фиктивных пластин для ремонта может значительно снизить эксплуатационные расходы завода.
| 6 дюймов (150 мм),8 дюймов (200 мм),12 дюймов (300 мм)
|  |  |
Распыленная вафля
Процесс напыления был разработан для нанесения сверхчистых металлических и диэлектрических пленок.Вся обработка пластин, включая напыление металла, выполняется в чистом помещении.В этом процессе необходимо радиочастотное травление на месте, чтобы обеспечить хорошую адгезию пленки и омический контакт с нижележащими проводящими слоями.Все напыляемые пленки доступны на кремниевых пластинах диаметром до 300 мм.У нас есть спрос на широкий спектр напыленных недрагоценных металлов, диэлектрических пленок и кремния.К наиболее популярным напыленным пленкам относятся: медь, алюминий, никель и другие.
| 150〜300мм |  |  |
Другая полупроводниковая пластина
Узорчатая вафля.Узорчатые кремниевые пластины имеют те же требования к качеству и чистоте, что и стандартные узорчатые кремниевые пластины.(Без рисунка)Голая вафля.Большая голая кремниевая пластина, или SDB, представляет собой кремниевую пластину диаметром более восьми дюймов.Эффективное производство полупроводников и производственные процессы начинаются с контроля качества чистого кремния и эпитаксиальных пластин.Металлическая пластина перегородки.Неметаллическая пластина перегородки.Другие полупроводниковые пластины.
| 200 и 300 мм |  |  |